РУС ENG
 
Interactive Corporation — Японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.

Interactive Corporation — Авторизованный торговый агент компаний:
JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Rigaku, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Authorized Agent of JEOL Ltd. in Russia and CIS Countries

JBX-5500FS Electron Beam Lithography System

The new JBX-5500FS is a cost-effective, high resolution direct write tool that is PC-controlled and simple to use. A spot beam, vector scan system, the JBX-5500FS writes patterns at a minimum line width of 10nm at 50kV.

The JBX-5500FS can achieve writing accuracies in two separate modes:

* High Resolution Mode: Overlay accuracy of < 40nm (3 sigma) can be achieved at 50kV.
* High Speed Mode: High speed mode allows 1mm fields at 50kV or 2mm at 25kV.

The JBX-5500FS can accept parts/pieces and wafers up to 100mm substrates via a single wafer manual loader.

Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru