РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Ulvac-Riko, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Установка для ориентированного роста углеродных нанотрубок-эмиттеров CN-CVD

Установка для ориентированного роста углеродных нанотрубок-эмиттеров CN-CVD

В 1985 г. Харри Крото (Англия), Бобом Керлом и Риком Смайли (США) были открыты фуллерены (С60, т.н. «баскетбольный мяч»). Размеры фуллеренов составляют примерно 1 нм в диаметре. В 1991 г. японский ученый Иидзима открыл углеродные нанотрубки. С тех пор различные исследователи неоднократно воспроизводили данный материал и было создано новое направление в науке.
 
С точки зрения своей структуры углеродные нанотрубки можно грубо разделить на два типа. Одним из них являются трубки, свитые из цилиндрически изогнутого листа графита – так называемые одностенные нанотрубки. Ко второму типу относятся многостенные нанотрубки, в которых вышеупомянутые цилиндрические листы графита организованы в виде концентрической структуры. По сравнению с обычными материалами такие углеродные нанотрубки в некоторых аспектах обладают уникальными физическими и химическими свойствами.
 
Применительно к использованию в полупроводниковых приборах одной из особенностей углеродной нанотрубки является то, что она имеет высокое аспектное отношение. То есть при диаметре в несколько нанометров она имеет длину от нескольких нанометров до нескольких микрон. Что касается электрических свойств нанотрубок, то плотность тока, который может подаваться на трубку, является весьма высокой и при этом ее электропроводность близка к электропроводности металлов или полупроводников в зависимости от разности в векторе хиральности.
 
Учитывая преимущества характеристик такой углеродной нанотрубки, научными организациями были начаты прикладные исследования различных применений углеродных нанотрубок в полупроводниках.
 
Фирма ULVAC разработала и начала серийное производство систем для нанесения алмазных пленок или алмазоподобных углеродных пленок. В 1999 г. фирма ULVAC вне конкуренции разработала и приступила к серийному производству системы для осаждения углеродных нанотрубок на подложках диаметром 1 дюйм (25 мм, модель CN-CVD-100) и поставила более 30 таких систем во всем мире (на сентябрь 2003 г.).
 
Серия CN-CVD – линейка систем, разработанных для выращивания углеродных нанотрубок методом плазменного эпитаксиального осаждения из газовой фазы. Модели имеют названия CN-CVD-100, CN-CVD-400 и CN-CVD-800, где номер модели представляет собой диаметр подложки. То есть модель CN-CVD-100 предназначена для работы с подложками диаметром 1 дюйм (25,4 мм), а модели CN-CVD-400 и CN-CVD-800 для работы с подложками диаметром 4 дюйма (около 100 мм) и 8 дюймов (около 200 мм) соответственно.
 

 

Пользуясь тем свойством, что имеет место селективный рост углеродных нанотрубок на металле-катализаторе, можно использовать нанотрубки в полупроводниках, где необходимо контролировать изготовление шаблона с размерами порядка нанометров. Углеродные нанотрубки, которые могут быть выращены с помощью системы CN-CVD, являются многостенными нанотрубками и имеют диаметр от нескольких нанометров до нескольких сотен нанометров. Строение этих нанотрубок является, вообще говоря, не цилиндрическим, а напоминает вложенные друг в друга многослойные конусы.

 

Эта особенность позволяет получать высокие напряжённости электростатического поля в области острия трубки при приложении сравнительно малых потенциалов, вызывая тем самых эмиссию электронов с острия.

 

Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru