EDS система QUANTAX предназначена для энергодисперсионного микроанализа на сканирующих и просвечивающих электронных микроскопах (SEM и TEM). Система с SDD кремниевым дрейфовым детектором XFlash® без охлаждения жидким азотом адаптирована под все типы SEM и TEM. Современный тип энергодисперсионного SDD детектора 4-го поколения и мощный процессор обеспечивают быстрое сканирование за счет высокой скорости счета до 275 000 имп/с.

Высокая разрешающая способность по энергии (до 125 эВ на линии Mn Kα) детектора и полимерное входное окно позволяют проводить рентгенофлуоресцентный анализ от бериллия. Система снабжена программным обеспечением ESPRIT с интуитивным интерфейсом, которая включает количественный анализ, в том числе и бесстандартный, расширенную библиотеку линий для области низких энергий, картирование и т.д.

EDS система QUANTAX 800 включает в себя следующие компоненты:

• Безазотный SDD кремниевый дрейфовый детектор XFlash® со стабильным разрешением в 133 эВ (или 129, 127, 125 эВ) при скорости счета в 100 000 имп/с, размер чипа – 10 или 30 мм².
• Блок электроники – гибридный (аналого-цифровой) процессор импульсов.
• Плату для управления электронным пучком и передачи данных с электронного микроскопа на компьютер.
• Программное обеспечение ESPRIT.
• Современный компьютер.

Описание программного обеспечения ESPRIT:

Программное обеспечение для количественного анализа:

• ESPRIT Quant Автоматический бесстандартный анализ.
• ESPRIT EQuant Дополнительные функции обработки спектров для опытных пользователей.
• ESPRIT UQuant Редактор для создания собственных методов обработки спектров.
• ESPRIT HSQuant Комбинированный стандартный Φ(ρz) анализ / бесстандартный анализ с P/U-ZAF коррекцией.
• ESPRIT SpecMatch Программа для поиска и сравнения с подобными спектрами из собственной библиотеки спектров.

Программное обеспечение для обработки изображений и автоматизации:

• ESPRIT Scan Программа для получения изображения со сканирующего микроскопа с разрешением до 4 096 * 4 096 точек.
• ESPRIT ColorScan Программа для получения цветного изображения со сканирующего микроскопа.
• ESPRIT Vision Программа для цифровой обработки изображения.
• ESPRIT Stereo Vision Программа для получения трехмерных изображений.
• ESPRIT StageControl Программа для управления моторизированным столиком электронного микроскопа.
• ESPRIT JobControl Программирование и проведение автоматических процедур измерений.
• Scandium Automatic Particle Analysis Программа для автоматического анализа частиц.

Multi-Point, LineScan, картирование:

• ESPRIT MultiPoint Автоматический анализ нескольких точек и областей.
• ESPRIT Line Быстрый линейный профиль с записью спектров от каждой точки.
• ESPRIT QLine Количественный анализ линейного профиля.
• ESPRIT Map Высокоскоростное элементное картирование.
• ESPRIT QMap Картирование концентраций элементов.
• ESPRIT DriftCorr Коррекция смещения электронного пучка.
• ESPRIT HyperMap Картирование с записью полного спектра от каждой точки изображения.
• ESPRIT AutoPhase Программа автоматического фазового анализа.

Администрирование системы и потоков данных:

• ESPRIT Project Программа для сохранения всех данных в одном «проекте».
• ESPRIT Report Программа для подготовки отчетов.
• ESPRIT User Программа для редактирования профилей нескольких пользователей.
• ESPRIT LAN Дополнительная опция для работы программы.
• ESPRIT по локальной сети.
• ESPRIT SEMLink Программа для обмена данными с электронными микроскопами SEM, TEM, и EPMA.
• ESPRIT Support Техническая поддержка пользователя и управление через Интернет.
• ESPRIT EMSA Импортирование и экспортирование EMSA спектров.
• ESPRIT API Интерфейс для управления программой ESPRIT из других программ.