РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Ulvac-Riko, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Оже-микроанализатор JAMP-9510

Оже-микроанализатор JAMP-9510

Оже-микроанализаторы фирмы JEOL имеют аббревиатуру JAMP (JEOL Auger Micro Probe). В настоящее время фирмой JEOL прекращен выпуск моделей с гексаборид-лантановым катодом в связи со все более ужесточающимися требованиями рынка в части повышения пространственного разрешения при Оже-анализе.
 
Модель JAMP-9510F оснащена термополевым катодом. Электронно-оптическая система новой конструкции, недавно разработанная фирмой JEOL, позволила значительно повысить пространственное решение, давая возможность на JAMP-9510F получать электронный зонд с минимальным диаметром 3 нм (в режиме вторичной электронной эмиссии) и 8 нм (в режиме Оже-анализа).
 
Кроме того, в JAMP-9510F применен полусферический электростатический анализатор энергии электронов (ПСА) с многоканальным датчиком, оптимизированным под Оже-анализ. Этот ПСА обладает высоким энергетическим разрешеним при анализе с высокой чувствительностью, при этом демонстрируя максимальную эффективность проведения анализа химического состояния элементов. JAMP-9510F позволяет проводить исследование изображения поверхности образца с высоким пространственным разрешением, используя режим вторичных электронов, картирование распределения элементного и химического состава в Оже-электронах и анализируя профиль концентрации вдоль выбранной линии (линейный профиль). К тому же, этот прибор может проводить анализ профиля концентрации по глубине при использовании ионного травления поверхности образца.
 
Новая ионная пушка с нейтрализацией ионов давт возможность проводить Оже-анализ непроводящих материалов (керамики, стекла, окисных пленок и др. диэлектриков).
 

Параметры Значения
Разрешение во вторичных электронах 3 нм (при 25 кВ, 10 пА)
Диаметр зонда для Оже-микроанализа 8 нм (при 25 кВ, 1 нА)
Тип электронной пушки термополевой катод Шоттки
Энергия электронного зонда от 0,5 до 30 кэВ
Ток зонда от 10 пА до 0,2 мкА
Увеличение от 25 до 500 000 крат
Оже-спектрометр полусферический электростатический анализатор
Разрешение по энергии Оже-спектрометра от 0,05 до 0,6 %
Чувствительность Оже-спектрометра 840 000 имп / 7 каналов*сек
Система детектирования Оже-спектрометра многоканальный детектор
Ускоряющее напряжение ионной пушки от 0,01 до 4 кВ
Ионный ток 2 мкА или более при 3 кВ и 0,03 мкА или более при 0,01 кВ
Функция нейтрализации поверхностного заряда на образце встроена
Диапазон перемещения столика образцов X: ±10 мм; Y: ±10 мм; Z: ±6 мм; наклон: от 0 до 90 градусов; поворот: 360 градусов
Размер образца 20 мм диаметр, 5 мм толщина
Предельное давление в камере образцов 5 х 10-8 Па или менее
Отжиг колонны система отжига встроена, отжиг автоматический
Изображения спектры, профилирование по глубине, линейные профили, картирование в Оже-электронах, изображение во вторичных электронах

 

В данной модели пространственное разрешение улучшено до 8 нм. Это дает возможность визуализировать тончайшие слои полупроводниковых приборов на их поперечных срезах. Кроме того, данная модель имеет ускоряющее напряжение 30 кВ, что позволяет устанавливать приставку для энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и EBSD детектор.

 

Все это делает данный микроанализатор сверхвысоковакуумным аналитическим РЭМ, обладающим высоким разрешением во вторичных электронах и очень высоким разрешением в Оже-электронах и оснащенным спектрометром энергии электронов также с очень высоким разрешением (до 0,05%), с помощью которого можно осуществлять не только элементный, но и химический анализ (т.е., например, различать кремний в окисле и кремний в чистом состоянии), что позволяет проводить тонкие исследования профилей концентрации элементов на границах раздела в многослойных полупроводниковых структурах.

 

Также новейший Оже-микроанализатор имеет гониометрический столик образцов с улучшенными функциями, оптимизированный для различных видов исследований, например, для глубинного профилирования (имеется функция ионного травления с одновременным вращением образца для того, чтобы избежать селективного травления материала под ионным пучком). При профилировании с вращением столик с образцом может вращаться относительно любой выбранной точки на образце.

 

Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru