РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Ulvac-Riko, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Система электронно-лучевой литографии JBX-5500FS

Система электронно-лучевой литографии JBX-5500FS

JBX-5500FS - cистема электронно-лучевой литографии для изготовления нанотехнологических приборов и радиоустройств СВЧ диапазона, радиолокации и др.


Основные задачи и характеристики:

• Применение нанотехнологий для создания устройств нового поколения.
• Настройка литографический операций с применением искусственного интеллекта.
• Высокоэффективный генератор изображений с частотой 12 МГц и разрешением 18 бит.
• Простота эксплуатации и гибкость выбора рисунков шаблонов для литографии.
• Нанесение ультратонких шаблонов. Возможно нанесение на различные материалы.
• Два режима объективной линзы (нанолитографический и субмикронный режим литографии).

Параметры Значения
Источник электронов термополевая пушка Шоттки
Форма пятна Гауссов пучок
Ускоряющее напряжение 50 кВ, 25 кВ
Минимальная ширина линии не более 10 нм
Область работы без перемещения столика образцов 2 000 мкм х 2 000 мкм
Максимальный размер образца 4 дюйма
Ток электронного луча от 30 пА до 20 нА
Минимальный шаг 0,5 нм (при 50 кВ)
Погрешность сшивки полей не более 40 нм
Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru