Многолучевая система JIB-4700F – многофункциональный исследовательский инструмент, состоящий из сканирующего электронного микроскопа с термополевым катодом Шоттки (TFE-SEM) и системы травления сфокусированным ионным лучом (FIB), смонтированными на одной камере образцов.

Возможности растрового электронного микроскопа с термополевой пушкой Шоттки (такие как получение изображений со сверхвысоким разрешением, рентгеноспектральный микроанализ и т.д.), главным образом определяющие параметры многолучевой системы, были дополнены возможностями сфокусированного ионного зонда: JIB-4700F позволяет вам осуществлять также прецизионное травление исследуемого образца, получение трёхмерного изображения образца, электронно-стимулированное осаждение, реактивное (химически-стимулированное) высокоскоростное травление.

Электронная пушка на базе катода Шоттки патентованной конструкции «In-Lens» дает стабильную эмиссию электронного луча с максимальным током до 200 нА. Кроме того, комбинация пушки «In-Lens» и линзы контроля апертурного угла (ACL) обеспечивает остросфокусированный электронный зонд даже при высоком токе зонда, что обеспечивает эффективные результаты наблюдения и анализа.

Ионная пушка FIB использует зонд с высокой плотностью ионного тока для достижения более быстрого и более чистого травления. Предусмотрена также функция ионного травления при низких ускоряющих напряжениях (ниже 5 кВ), обеспечивающая эффективное удаление слоев без повреждения областей, предназначенных для дальнейшего исследования.

Система JIB-4700F может быть успешно использована в качестве высокоточного инструмента пробоподготовки для просвечивающей электронной микроскопии.