РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Advance Riko, Cornes Technologies, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Растровый электронный микроскоп высокого разрешения JIB-4700F Multibeam с ионной пушкой для микротравления

Растровый электронный микроскоп высокого разрешения JIB-4700F Multibeam с ионной пушкой для микротравления

Многолучевая система JIB-4700F – многофункциональный исследовательский инструмент, состоящий из сканирующего электронного микроскопа с термополевым катодом Шоттки (TFE-SEM) и системы травления сфокусированным ионным лучом (FIB), смонтированными на одной камере образцов.

Возможности растрового электронного микроскопа с термополевой пушкой Шоттки (такие как получение изображений со сверхвысоким разрешением, рентгеноспектральный микроанализ и т.д.), главным образом определяющие параметры многолучевой системы, были дополнены возможностями сфокусированного ионного зонда: JIB-4700F позволяет вам осуществлять также прецизионное травление исследуемого образца, получение трёхмерного изображения образца, электронно-стимулированное осаждение, реактивное (химически-стимулированное) высокоскоростное травление.

Электронная пушка на базе катода Шоттки патентованной конструкции «In-Lens» дает стабильную эмиссию электронного луча с максимальным током до 200 нА. Кроме того, комбинация пушки «In-Lens» и линзы контроля апертурного угла (ACL) обеспечивает остросфокусированный электронный зонд даже при высоком токе зонда, что обеспечивает эффективные результаты наблюдения и анализа.

Ионная пушка FIB использует зонд с высокой плотностью ионного тока для достижения более быстрого и более чистого травления. Предусмотрена также функция ионного травления при низких ускоряющих напряжениях (ниже 5 кВ), обеспечивающая эффективное удаление слоев без повреждения областей, предназначенных для дальнейшего исследования.

Система JIB-4700F может быть успешно использована в качестве высокоточного инструмента пробоподготовки для просвечивающей электронной микроскопии.

Параметры Значения
Тип источника электронов термополевой эмиттер (катод Шоттки)
Пространственное разрешение 1,2 нм при 30 кВ, 3 нм при 1 кВ
Энергия электронного луча от 200 эВ до 30 кэВ
Увеличение от 50 до 1 000 000 крат
Ток луча до 200 нА
Аналитические приставки - опции система энергодисперсионного микроанализа, система анализа дифракции отражённых электронов, система спектрального анализа катодолюминесценции, детектор прошедших электронов
Источник ионов источник ионов галлия
Пространственное разрешение при сканировании ионным пучком 5 нм при 30 кВ
Ускоряющее напряжение ионной пушки от 5 до 30 кВ
Увеличение при сканировании ионным пучком от 30 до 300 000 крат
Максимальный ток ионной пушки 30 нА
Дополнительное оборудование дополнительные газовые инжекторы
Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru