РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Ulvac-Riko, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8230 Superprobe

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8230 Superprobe

Микроанализаторы JEOL JXA-8230 – новое поколение приборов этого класса. Их серийный выпуск начался в 2009 г. В основе данной конструкции лежат идеи, реализованные еще в начале 80-х годов на базе микроанализаторв JCXA-733 (JCXA расшифровывается как компьютеризированный электронно-зондовый рентгеновский микроанализатор фирмы JEOL. После модели JCXA-733 были выпущены модели JXA-8600 (конец 80-х годов), JXA-8800 (середина 90-х годов), JXA-8100/8200 (выпускаются c 2000 года).

В последней модели JXA-8230 инженеры JEOL учли рекомендации наиболее требовательных пользователей предыдущих моделей. В результате получился прибор, отвечающий всем запросам экспертов в области микроанализа. И в то же время он так легок и удобен в управлении, что даже новичок способен быстро его освоить. Все основные функции – от юстировки до микроанализа – автоматизированы и находятся под цифровым компьютерным управлением.

Параметры Значения
Диапазон анализируемых элементов от 4(Ве) до 92(U)
Диапазон длин волн от 0,087 до 9,3 нм
Количество волновых спектрометров от 1 до 5
Энергодисперсионный спектрометр встроена безазотная система ЭД микроанализа
Диапазон перемещения столика образцов 100 мм по X и 100 мм по Y
Точность позиционирования образца 0,5 мкм
Максимальный размер образца 100 мм х 100 мм х 50 мм (В)
Анализируемая область 90 мм х 90 мм
Скорость сканирования столиком образцов 15 мм/сек
Энергия электронного зонда от 0,2 до 30 кэВ (шаг 100 эВ)
Ток зонда от 1 пА до 10 мкА
Стабильность тока зонда +/- 0,05%/час +/-0,3%/12 часов
Разрешение во вторичных электронах 6 нм для вольфрамового катода и 5 нм для гексаборидлантанового катода
Изображение в отражённых электронах топографический и композиционный контраст
Увеличение от 40 до 300 000 крат

Основой прибора, на которой и собирается весь прибор, является камера образцов с прецизионным гониометром, причем перемещение по осям X Y Z осуществляется мощными шаговыми двигателями, обладающими весьма большим ресурсом. Минимальный шаг перемещения составляет 0,2 мкм (опция, в стандартном исполнении – 0.5 мкм). Такой гониометр необходим для получения карт распределения элементов путем механического сканирования столика по растру относительно неподвижного электронного зонда. Это необходимо потому, что все волнодисперсионные спектрометры (ВДС) имеют вертикальную конфигурацию и очень малую область, из которой они могут регистрировать характеристическое рентгеновское излучение. Поэтому сканирование электронным зондом при работе с ВДС невозможно. Наличие механического сканирования и накладывает весьма жесткие требования к точности позиционирования и ресурсу гониометра со столиком образцов, поскольку построение одной карты распределения занимает от нескольких минут до нескольких десятков минут ( в зависимости от условий измерения, шага сканирования, размера области сканирования и пр.).

 

Для того чтобы при механическом сканировании образца можно было регистрировать сразу несколько элементов, необходимо наличие нескольких волновых спектрометров (т.н. каналов) – от 2 до 5. Кроме того, имеется встроенный энергодисперсионный спектрометр, который расширяет число каналов до 13. Таким образом, из каждой точки образца одновременно можно получить информацию от от 1 до 13 (в зависимости от модели прибора и числа волновых каналов) элементов.

 

Другими важными составными частями микроанализатора являются электронно-оптическая колонна, формирующая очень стабильный по току и положению электронный зонд, оптический микроскоп с рефракционной параболической оптикой, коаксиальный и конфокальный с электронным зондом, оборудованный цветной телекамерой, волновые спектрометры, каждый из которых имеет от 2 до 4 кристалл-анализаторов, а также система управления и обработки информации на базе персонального компьютера и рабочей станции (последняя обрабатывает всю информацию, управляет перемещением образца при анализе, и пр.).

Оптический микроскоп позволяет визуализировать образцы с увеличением до х400 в оптическом диапазоне и наблюдать реальные цвета различных участков образца (поскольку изображение во вторичных электронах не несет информации о цвете).

 

Одной из самых важнейших характеристик является стабильность электронного зонда по положению и току. Стабильность по току обеспечивает точность микроанализа и составляет полторы десятых доли процента в течение одного часа. Это необходимо, поскольку при работе волновых спектрометров спектр накапливается последовательно и колебания тока могут привести к такой же неточности при расчете концентрации элементов. В обычных растровых электронных микроскопах с аналитическим приставками таких жестких требований на электронный зонд не накладывается, поэтому на них нельзя получить точных данных микроанализа.

 

Последней по порядку, но не по важности составной частью данного микроанализатора является сопутствующее программное обеспечение. Микроанализаторы Superprobe фирмы JEOL оснащаются самым широким спектром программного обеспечения для всех пользователей и всех областей применения. В такое ПО входят программы для элементного и фазового картирования, количественного анализа методами ZAF, фи-ро-зет и Бенса-Альби, программное обеспечение для построения фазовых диаграмм тройных систем и различные программы для картирования состава криволинейных поверхностей.

 

Последняя программа является новейшей разработкой и благодаря коррекции положения точки анализа на криволинейной поверхности по оси Z (по вертикали) позволяет, например, получать карты распределения элементов на поверхности сферической формы. Ранее для микроанализа использовались только образцы с плоскими шлифами.

 

Только в моделях Superprobe имеется большой выбор спектрометров. Так, имеются спектрометры на 2 и 4 кристалла (последние используются, как правило, в конфигурациях с количеством спектрометров от 1 до 3–4), а также спектрометры H-типа (H от слова High – высокий), имеющие повышенную чувствительность к микропримесям в образцах. Благодаря таким уникальным особенностям конструкции микроанализаторы Superprobe используются в самых современных исследовательских центрах, институтах и промышленных компаниях во всем мире.

 

Основные особенности и преимущества микроанализатора JXA-8230:

  • По сравнению с моделью JXA-8200 микроанализатор JXA-8230 отличается тем, что спектрометрическая часть управляется от IBM-совместимого компьютера, так же как и система управления микроскопом. Т.е. имеется 2 монитора, которые позволяют удобно работать с информацией и управлять прибором с помощью одной мыши.

  • Прибор стал более компактным, минимальные габариты помещения составляют 3,5 х 4,0 м.

  • Изображение с телекамеры передается на общий монитор. Теперь можно наблюдать даже тонкие шлифы в проходящем свете, а затем исследовать те фазы, которые наблюдаются в цвете в оптическом микроскопе, в режиме микроанализа. Затем можно сопоставлять карты распределения элементов с изображениями фаз на шлифах в оптическом микроскопе.

  • Полное картирование элементного и фазового состава. При этом на диаграммах состояний (тройных фазовых диаграммах) можно выделять интересующую фазу, а затем картировать ее в виде карты распределения.

  • Компания JEOL разработала новый волновой спектрометр L-типа с большим радиусом круга Роуланда. Этот спектрометр включает в себя кристаллы PETL (для разрешения следовых концентраций элементов с перекрывающимися пиками, например таких как Pb-U-Th) и LIFL (полезен для разрешения небольших пиков, таких как пики редкоземельных элементов.

  • JEOL разработал программу картирования возраста пород. ВОЗМОЖНО ПОСТРОЕНИЕ ИЗОХРОН ПРЯМО НА ИЗОБРАЖЕНИИ МИНЕРАЛОВ (при анализе монацита по соотношению Pb-U-Th). Другие производители не имеют аналогов такой программы.

  • Новый прибор включает в себя безазотный энергодисперсионный детектор с кремний-дрейфовым кристаллом, который позволяет работать с большой скоростью счета (не аттенюируя кристалл ЭДС детектора), осуществляя ЭДС анализ вместе с ВДС анализом. Новый ЭДС детектор позволяет осуществлять быстрый предварительный анализ, получать карты распределения фаз и элементов (не в следовых концентрациях и с неперекрывающимися пиками), а также виртуально увеличивать число каналов до 15 при картировании распределений элементов при механическом сканировании столиком образцов.

  • Прибор имеет современный WINDOWS интерфейс оператора, легко осваивается молодыми специалистами, имеющими опыт работы с персональными компьютерами. Вместе с тем его отличает высокая надежность, свойственная всем приборам JEOL.

  • Высокое разрешение спектрометров позволяет определять не только пики чистых элементов, но также различать химическое состояние элементов, т.е. картировать, например, распределения не только цинка, но и цинка в соединении ZnS.

  • Прибор отличается максимальной стабильностью и воспроизводимостью и является эталонным прибором для микроанализа. Чувствительность при анализе некоторых элементов может составлять десятки ppm, а в случае мелкодисперсных месторождений – определять частицы минералов (напр., горнорудного золота в кварце) размерами от 0,5 до 1 мкм. Также возможна статистическая обработка путем анализа и классификации всех обнаруженных зерен (particle analysis software).

  • Многооконный интерфейс позволяет работать в многозадачном режиме и представлять результаты в самом удобном и подробном виде, что повышает наглядность результатов и эффект от их изучения. Также можно сразу готовить презентации по полученным результатам для докладов на совещаниях, семинарах и конференциях.

 

 

В России и СНГ установлено более 10 шт. микроанилизаторов класса JCXA-733, 3 прибора класса JXA-8600 и 3 прибора класса JXA-8100. Наша фирма выполняет весь комплекс работ по поставке, шеф-монтажу (пусконаладке) и обучению пользователей, причем последнее может проводиться как на месте установки (обучение проводится российским специалистом, имеющим сертификат фирмы JEOL), так и в центре обучения в Японии (г. Акишима в 1 часе езды от Токио) на заводе фирмы JEOL. Все оборудование имеет японский сертификат происхождения, что гарантирует его высочайшую надежность и долговечность. Следует отметить, что большая часть микроанализаторов JCXA-733 (которые начали поставляться более 20 лет назад) еще работает на территории бывшего СССР.

Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru