РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Ulvac-Riko, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F Hyperprobe с термополевым источником электронов

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F Hyperprobe с термополевым источником электронов

На базе пушки с катодом Шоттки, обеспечивающей ток 200 нА высокой стабильности, и хорошо отработанной конструкции электронно-зондовых микроанализаторов серии JXA-8230 «Superprobe» фирмой JEOL разработан электронно-зондовый рентгеновский микроанализатор с термополевой электронной пушкой модели JXA-8530F «Hyperprobe».

 

Данная модель микроанализатора имеет такие же характеристики электрической и механической стабильности колонны, пушки, гониометра, высокой механической воспроизводимости столика образцов, волновых спектрометров и пр., что и микроанализаторы класса «Superprobe» с катодом из гексаборида лантана, но позволяет получать более высокое аналитическое разрешение при уменьшении ускоряющего напряжения до 3–5 кВ, поскольку при этом не происходит значительного уширения электронного зонда.

Параметры Значения
Диапазон анализируемых элементов от 4 (Be) до 92 (U)
Диапазон длин волн от 0,087 до 9,3 нм
Количество волновых спектрометров от 1 до 5
Максимальный размер образца 100 мм х 100 мм х 50 мм (В)
Анализируемая область 90 мм х 90 мм
Скорость сканирования столиком образцов 15 мм/сек
Энергия электронного зонда от 1 до 30 кэВ (шаг 100 эВ)
Ток зонда от 10 пА до 0,5 мкА
Стабильность тока зонда +/- 0,5 %/час
Разрешение во вторичных электронах 3 нм

Основой прибора, на которой и собирается весь прибор, является камера образцов с прецизионным гониометром, причем перемещение по осям X Y Z осуществляется мощными шаговыми двигателями, обладающими весьма большим ресурсом. Минимальный шаг перемещения составляет 0,2 мкм (опция, в стандартном исполнении – 0.5 мкм). Такой гониометр необходим для получения карт распределения элементов путем механического сканирования столика по растру относительно неподвижного электронного зонда. Это необходимо потому, что все волнодисперсионные спектрометры (ВДС) имеют вертикальную конфигурацию и очень малую область, из которой они могут регистрировать характеристическое рентгеновское излучение. Поэтому сканирование электронным зондом при работе с ВДС невозможно.

 

Наличие механического сканирования и накладывает весьма жесткие требования к точности позиционирования и ресурсу гониометра со столиком образцов, поскольку построение одной карты распределения занимает от нескольких минут до нескольких десятков минут ( в зависимости от условий измерения, шага сканирования, размера области сканирования и пр.). Для того чтобы при механическом сканировании образца можно было регистрировать сразу несколько элементов, необходимо наличие нескольких волновых спектрометров (т.н. каналов) – от 2 до 5.

 

Кроме того, в модели JXA-8530F имеется встроенный энергодисперсионный спектрометр, который расширяет число каналов до 13. Таким образом, из каждой точки образца одновременно можно получить информацию от 1 до 13 (в зависимости от модели прибора и числа волновых каналов) элементов.

 

Другими важными составными частями микроанализатора являются электронно-оптическая колонна, формирующая очень стабильный по току и положению электронный зонд, оптический микроскоп с рефракционной параболической оптикой, коаксиальный и конфокальный с электронным зондом, оборудованный цветной телекамерой, волновые спектрометры, каждый из которых имеет от 2 до 4 кристалл-анализаторов, а также система управления и обработки информации на базе персонального компьютера и рабочей станции (последняя обрабатывает всю информацию, управляет перемещением образца при анализе, и пр.).

Оптический микроскоп позволяет визуализировать образцы с увеличением до х400 в оптическом диапазоне и наблюдать реальные цвета различных участков образца (поскольку изображение во вторичных электронах не несет информации о цвете).

 

Одной из самых важнейших характеристик такого микроскопа является стабильность электронного зонда по положению и току. Стабильность по току обеспечивает точность микроанализа и составляет полторы десятых доли процента в течение одного часа. Это необходимо, поскольку при работе волновых спектрометров спектр накапливается последовательно и колебания тока могут привести к такой же неточности при расчете концентрации элементов. В обычных растровых электронных микроскопах с аналитическим приставками таких жестких требований на электронный зонд не накладывается, поэтому на них нельзя получить точных данных микроанализа.

 

Микроанализаторы Hyperprobe фирмы JEOL оснащаются самым широким спектром программного обеспечения для всех пользователей и всех областей применения. В такое ПО входят программы для элементного и фазового картирования, количественного анализа методами ZAF, фи-ро-зет и Бенса-Альби, программное обеспечение для построения фазовых диаграмм тройных систем и различные программы для картирования состава криволинейных поверхностей.

 

Последняя программа является новейшей разработкой и благодаря коррекции положения точки анализа на криволинейной поверхности по оси Z (по вертикали) позволяет, например, получать карты распределения элементов на поверхности сферической формы. Ранее для микроанализа использовались только образцы с плоскими шлифами.

 

В модели Hyperprobe имеется большой выбор спектрометров. Так, имеются спектрометры на 2 и 4 кристалла (последние используются, как правило, в конфигурациях с количеством спектрометров от 1 до 3–4), а также спектрометры H-типа (H от слова High – высокий), имеющие повышенную чувствительность к микропримесям в образцах.

 

Наша фирма выполняет весь комплекс работ по поставке, шеф-монтажу (пусконаладке) и обучению пользователей, причем последнее может проводиться как на месте установки (обучение проводится российским специалистом, имеющим сертификат фирмы JEOL), так и в центре обучения в Японии (г. Акишима в 1 часе езды от Токио) на заводе фирмы JEOL. Все оборудование имеет японский сертификат происхождения, что гарантирует его высочайшую надежность и долговечность.

Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru