Энергодисперсионный микроанализ и волнодисперсионный микроанализ являются дополняющими друг друга методами: ЭД система обладает несравнимо более высоким быстродействием в части анализа всего спектрального диапазона, но ВД система превосходит её на порядок по энергетическому разрешению и чувствительности.

При наличии на микроскопе конфигурации INCA Energy+ оператор может пользоваться преимуществами одновременно двух систем, т.к. они управляются от одного компьютера и представляют собой единую систему для элементного микроанализа. ЭДС – для быстрого анализа основных компонентов ВДС – для элементов-примесей и элементов с перекрывающимися пиками (доступны все виды анализа – набор спектра в заданном диапазоне энергий/длин волн, получение рентгеновских карт заданных элементов, количественный анализ).

Получив спектр с помощью ЭД спектрометра, пользователь может выбрать на этом спектре интересующие его участки с помощью высокоразрешающего ВД спектрометра. Тем самым достигается оперативность работы (ВД спектрометр не сканирует весь диапазон энергии) и исключается вероятность ошибки при количественном и качественном анализе из-за перекрытия пиков спектра.