РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Ulvac-Riko, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Система для плазмохимического газофазного осаждения алмазных плёнок AX5200 S-ECR

Система для плазмохимического газофазного осаждения алмазных плёнок AX5200 S-ECR

"...Базируясь на наилучшей в мире плазмохимической технологии осаждения алмазных пленок, плазмохимические реакторы серии АХ фирмы Seki Technotron используются как в производстве, так и в научных исследованиях. С учетом общей наработки данного оборудования свыше 1 млн. на более чем 200 установках, работающих в различных лабораториях мира, СВЧ плазменная технология фирмы Seki Technotron является привлекательным выбором для ученых, желающих сократить время на разработку процесса и обеспечить совместимость результатов исследований с учеными в других лабораториях и институтах.
 
Уникальный гибкий СВЧ-реактор фирмы Seki и запатентованная конструкция CВЧ-сопряжения дают возможность СВЧ-обработки при высоких давлениях (>10 Торр), при средних давлениях (100 мТорр с дополнительными магнитами) и при низких давлениях (<10 мТорр с дополнительным магнитом и проточной камерой).
 
Эти системы используются во всем мире для выращивания различных материалов на основе углерода (алмазов, нанокристаллических алмазов и углеродных нанотрубок и т.п.) и неуглероденых материалов типа GaN, SiC и т.п. (с последними наработками по росту вискеров из оксида галлия и кремния). В частности, СВЧ-плазменные реакторы фирмы Seki Technotron для газофазного осаждения применяются для создания алмазных покрытий режущих инструментов, теплоотводов, устройств ПАВ (на поверхностных акустических волнах) и т.п. и для различных новых применений, основанных на использовании нанокристаллических алмазов.
 
На рис. 1 показана система для плазмохимического газофазного роста алмазных пленок фирмы Seki Technotron (Япония) c СВЧ-генератором мощностью 1,5 кВт. На данной системе, изменяя параметры газовой смеси и температуры подложки, можно выращивать не только алмазные и алмазоподобные пленки (как монокристаллические, так и поликристаллические), но и вертикально ориентированные углеродные нанотрубки (см. рис. 2) и другие наноматериалы (например, карбонитрид кремния, см. рис. 3) на подложках диаметром 50-100 мм. На рис. 4 показана система термического газофазного осаждения алмазных пленок с горячей нитью фирмы Seki-Technotron.
 

 

Кроме того, недавно была опубликована статья, в которой сообщалось о том, что на оборудовании фирмы Seki Technotron за 25 часов был выращен монокристаллический алмаз высотой 2,5 мм. Т.е. скорость роста алмаза на монокристаллической подложке достигала 0,1 мм/ч. Внешний вид данного алмаза показан на рис. 5. Столь большие скорости роста возможны при увеличении мощности плазменного СВЧ-разряда. Установки Seki-Technotron для промышленного применения имеют мощность СВЧ-генератора до 100 кВт. Путем изменения рабочих условий процесса осаждения можно получать как микрокристаллические (с размерами кристаллитов до 100 нм), так и нанокристаллические (с размерами кристаллитов от нескольких нм до нескольких десятков нм) алмазные пленки. Последние особенно требуются для оптических применений (в качестве ИК-окон и т.п.). Параметры кристалличности можно изменять, проводя осаждения при пониженном давлении водород-метановой смеси в камере роста (при этом снижается и скорость роста), либо заменяя водород в смеси аргоном..."

 

Взято из "Оборудование и технология изготовления алмазных и алмазоподобных пленок методом плазмохимического газофазного осаждения" С. А. Иванов, глава московского представительства компании «Interactive Corporation», официального представителя фирмы Seki-Technotron, производителя систем выращивания алмазных пленок методом газофазного плазмохимического осаждения.

 

Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru