Растровая электронная микроскопия

Физические принципы растровой электронной микроскопии

Растровый электронный микроскоп основан на использовании предварительно сформированного тонкого электронного луча (зонда), положением которого управляют с помощью электромагнитных полей. Это управление (сканирование) во многом аналогично процессу развертки в телевизионных кинескопах. Электронный зонд последовательно проходит по поверхности исследуемого образца.

Под воздействием электронов пучка происходит ряд процессов, характерных для данного материала и его структуры. К их числу относится рассеяние первичных электронов, испускание (эмиссия) вторичных электронов, появление электронов, прошедших сквозь объект (в случае тонких объектов), возникновение характеристического излучения. В ряде специальных случаев (люминесцирующие материалы, полупроводники) возникает также световое излучение.

Регистрация электронов, выходящих из объекта, а также других видов излучения (характеристического, светового) дает информацию о различных свойствах микроучастков изучаемого объекта. Соответственно этому системы индикации и другие элементы растровых микроскопов различаются в зависимости от вида регистрируемого излучения.

Синхронно с разверткой электронного зонда осуществляется построение изображения на мониторе компьютера (яркость пикселя на мониторе пропорциональна величине регистрируемого сигнала). Например, в случае работы растрового электронного микроскопа в режиме индикации тока вторичных электронов величина вторичного электронного тока определяет глубину модуляции яркости на мониторе компьютера. Растровый электронный микроскоп такого типа позволяет получить увеличение 5 – 1 000 000 крат при достаточной контрастности изображения.

Разрешающая способность растровых электронных микроскопов такого класса определяется диаметром электронного зонда и материалом образца и составляет 10 ангстрем.

JEOL Ltd.

Компактные растровые электронные микроскопы серии JSM-IT100

JSM-IT100 – серия компактных растровых электронных микроскопов от JEOL с возможностью работы в различных средах, обеспечивающий получение высококачественных изображений и микроанализ.

Сенсорный экран управляющего компьютера –...

подробнее

Растровые электронные микроскопы серии JSM-IT300

Микроскоп JSM-IT300LV это растровый электронный микроскоп с возможностью работы в низковакуумном режиме. Оснащён удобным и понятным пользовательским интерфейсом. Обладает высокой производительностью за счёт высокоскоростного столика образцов и...

подробнее

Растровый электронный микроскоп JIB-4501 Multibeam с ионной пушкой для микротравления

JIB-4501 Multibeam – новая простая в эксплуатации система РЭМ/ФИП (растровый электронный микроскоп/ионная пушка с фокусированным ионным пучком), объединяющая в себе ионную оптику и самую популярную в...

подробнее

Растровый электронный микроскоп JSM-7200F

JSM-7200F это многоцелевой растровый электронный микроскоп с эмиттером Шоттки, предназначенный для решения широкого спектра задач как в элементном и структурном микроанализе так и в получении качественных изображений с высоким разрешением....

подробнее

Растровый электронный микроскоп высокого разрешения JIB-4600F Multibeam с ионной пушкой для микротравления

подробнее

Растровый электронный микроскоп сверхвысокого разрешения JSM-7500F

JSM-7500F – растровый электронный микроскоп высокого разрешения с возможностью анализа углеродных наноматериалов и диэлектрических композитов на их основе без напыления проводящих...

подробнее

Растровый электронный микроскоп сверхвысокого разрешения JSM-7800F

Микроскоп JSM-7800F оснащен электронной пушкой на базе эмиттера Шоттки, супергибридной объективной линзой (конической объективной линзой, использующей скрещенные электростатические и...

подробнее