Растровая электронная микроскопия

Физические принципы растровой электронной микроскопии

Растровый электронный микроскоп основан на использовании предварительно сформированного тонкого электронного луча (зонда), положением которого управляют с помощью электромагнитных полей. Это управление (сканирование) во многом аналогично процессу развертки в телевизионных кинескопах. Электронный зонд последовательно проходит по поверхности исследуемого образца.

Под воздействием электронов пучка происходит ряд процессов, характерных для данного материала и его структуры. К их числу относится рассеяние первичных электронов, испускание (эмиссия) вторичных электронов, появление электронов, прошедших сквозь объект (в случае тонких объектов), возникновение характеристического излучения. В ряде специальных случаев (люминесцирующие материалы, полупроводники) возникает также световое излучение.

Регистрация электронов, выходящих из объекта, а также других видов излучения (характеристического, светового) дает информацию о различных свойствах микроучастков изучаемого объекта. Соответственно этому системы индикации и другие элементы растровых микроскопов различаются в зависимости от вида регистрируемого излучения.

Синхронно с разверткой электронного зонда осуществляется построение изображения на мониторе компьютера (яркость пикселя на мониторе пропорциональна величине регистрируемого сигнала). Например, в случае работы растрового электронного микроскопа в режиме индикации тока вторичных электронов величина вторичного электронного тока определяет глубину модуляции яркости на мониторе компьютера. Растровый электронный микроскоп такого типа позволяет получить увеличение 5 – 1 000 000 крат при достаточной контрастности изображения.

Разрешающая способность растровых электронных микроскопов такого класса определяется диаметром электронного зонда и материалом образца и составляет 10 ангстрем.

JEOL Ltd.

Компактные растровые электронные микроскопы серии JSM-IT200

JSM-IT200 – серия компактных растровых электронных микроскопов от JEOL с возможностью работы в различных средах, обеспечивающий получение высококачественных изображений и микроанализ.

Сенсорный экран управляющего компьютера – новый...

подробнее

Настольный растровый электронный микроскоп JCM-7000 NeoScope

Новый настольный РЭМ легок в управлении для начинающего. Полная автонастройка параметров электронно-оптической системы. Легкость управления обеспечена благодаря сенсорному экрану. Микроскоп компактен, но многофункционален. В режиме высокого...

подробнее

Растровые электронные микроскопы серии JSM-IT500

Микроскоп JSM-IT500LV это растровый электронный микроскоп с возможностью работы в низковакуумном режиме. Оснащён удобным и понятным пользовательским интерфейсом. Обладает высокой производительностью за счёт высокоскоростного столика образцов и...

подробнее

Растровые электронные микроскопы серии JSM-IT500HR

Растровый электронный микроскоп JSM-IT500HR оснащён удобным и понятным пользовательским интерфейсом. Обладает высокой производительностью за счёт высокоскоростного столика образцов и возможностью управления посредством сенсорного экрана....

подробнее

Растровый электронный микроскоп JSM-7610F

подробнее

Растровый электронный микроскоп высокого разрешения JIB-4700F Multibeam с ионной пушкой для микротравления

Многолучевая система JIB-4700F – многофункциональный исследовательский инструмент, состоящий из сканирующего электронного микроскопа с термополевым катодом Шоттки (TFE-SEM) и системы травления сфокусированным ионным лучом (FIB), смонтированными на...

подробнее

Растровый электронный микроскоп сверхвысокого разрешения JSM-7900F

JSM-7900F - многоцелевой растровый электронный микроскоп с эмиттером Шоттки, который позволяет выполнять широкий спектр анализов и наблюдений с высоким пространственным разрешением.

Электронная оптическая система обеспечивает...

подробнее