Аналитическое оборудование для РЭМ

Энергодисперсионный микроанализ

Основополагающий принцип работы растрового (сканирующего) электронного микроскопа – облучение исследуемого образца сфокусированным электронным лучом со строчно-кадровой развёрткой. Энергия электронов пучка, рассеянная внутри образца, распределяется между различными вторичными процессами, некоторые из которых могут быть использованы как источники полезных сигналов в микроскопии и микроанализе: образование вторичных электронов, характеристическое вторичное излучение, отражённые электроны, катодолюминисценция.

Системы энергодисперсионного микроанализа предназначены для спектрального анализа характеристического вторичного излучения в растровом электронном микроскопе. Кванты излучаются атомами вещества при релаксации после возбуждения первичными электронами луча. Энергия кванта равна разности энергии между оболочками, на которых происходят переходы. Т.к. энергии электронных уровней квантованы и строго определены для каждого элемента таблицы Менделеева, то по всякому вторичному спектру можно с достаточной степенью точности определить набор элементов, составляющих исследуемый образец и образовавших этот спектр. По интенсивности линии спектра можно определить концентрацию соответствующего элемента.

Принцип энергодисперсионного разложения вторичного излучения состоит в следующем: основным регистрирующим элементом является полупроводниковый охлаждаемый диод, находящийся под обратным смещением. Квант, проникая в область p-n перехода, порождает электронно-дырочные пары, количество которых пропорционально энергии этого кванта. Возникает токовый импульс с величиной, пропорциональной количеству электронно-дырочных пар. Электроника усиливает, измеряет и запоминает этот токовый импульс. Это происходит несколько тысяч раз в секунду. Таким образом накапливается статистика энергий квантов излучения, а эта статистика и есть спектр вторичного излучения. Далее полученные результаты обрабатываются различными программами, результатами работ которых являются всякого рода специализированные коррекции, идентификация элементов, оценка концентраций и остальные функции, доступные пользователю программ системы ЭД микроанализа.

Alicona

Программа реконструкции трёхмерного изображения поверхности MeX

Мекс (MeX) – программа трехмерного анализа изображений неровной поверхности образцов для растрового электронного микроскопа. МеХ позволяет реконструировать и визуализировать трехмерную...

подробнее

Bruker AXS Microanalysis

Система для энергодисперсионного микроанализа QUANTAX

EDS система QUANTAX предназначена для энергодисперсионного микроанализа на сканирующих и просвечивающих электронных микроскопах (SEM и TEM). Система с SDD кремниевым дрейфовым детектором XFlash® без...

подробнее

Oxford Instruments

INCA Energy+ - программная платформа для интеграции управления ЭД и ВД спектрометрами

Энергодисперсионный микроанализ и волнодисперсионный микроанализ являются дополняющими друг друга методами: ЭД система обладает несравнимо более высоким быстродействием в части анализа всего спектрального диапазона,...

подробнее

Система для энергодисперсионного микроанализа INCA Energy

Главный элемент энергодисперсионного спектрометра (ЭДС) – это полупроводниковый детектор (ППД) рентгеновского излучения. Детектор преобразует энергию единичного рентгеновского фотона в скачок напряжения...

подробнее

Системы для волнодисперсионного микроанализа INCA Wave

 

 

"...Волнодисперсионный спектрометр состоит из двух главных компонентов – кристалла-анализатора и газового пропорционального рентгеновского счетчика. Спектрометр Inca Wave...

подробнее