Принципиальная схема плазменно-дуговой пушки

Принципиальная схема плазменно-дуговой пушки

 
Конструктивно пушка включает в себя три электрода: мишень (cathode), триггерный электрод и анод. Анод заземлён. Триггерный электрод находится под отрицательным потенциалом по отношению к мишени. В свою очередь пара электродов "мишень-триггер" находится под большим положительным потенциалом относительно анода. Разряд между триггером и мишенью образует дуговую плазму из материала мишени. Ионизированные атомы мишени ускоряются полем и направляются в сторону подложки.
 

Закрыть окно