Перечень экспериментально проверенных материалов для мишеней

Перечень экспериментально проверенных материалов для мишеней

 
Список элементов, проверенных компанией-изготовителем в качестве мишеней для распыления. Помимо этих чистых элементов с помощью введения в камеру осаждения газа-реагента и/или при одновременном использовании нескольких пушек удалось осадить наночастицы следующих соединений: WC, TiAl, SiC, NiFe, TlN, Al2O3, TiO2, SiO2, AlN, HfC, MoS2 и т.д.
 

Закрыть окно