Рис.1 Примеры двух наиболее общих типов CVD-реакторов низкого давления

Рис.1 Примеры двух наиболее общих типов CVD-реакторов низкого давления
(а) реактор с горячей нитью, (b) плазмохимический CVD-реактор с СВЧ-плазмой

Закрыть окно